楚環(huán)科技RTO系統(tǒng)在半導(dǎo)體行業(yè)治理應(yīng)用

時間：2024-07-09 13:37

來源：楚環(huán)科技

本文主要是概述了楚環(huán)科技承接的車間生產(chǎn)線廢氣治理項目。

項目背景

業(yè)主是一家高端光學(xué)膜材科技企業(yè)。聚焦高機能材料領(lǐng)域，以光學(xué)設(shè)計、精密涂布工藝、核心材料技術(shù)為支柱，構(gòu)建高端光學(xué)膜材產(chǎn)品解決方案創(chuàng)新平臺。其產(chǎn)品覆蓋電視/IT顯示表面處理、OLED顯示光學(xué)薄膜、車載顯示光學(xué)薄膜和uLED/mLED顯示光學(xué)薄膜等多個領(lǐng)域。

制造基地項目效果圖

該公司總部及高機能半導(dǎo)體材料研發(fā)制造基地項目總投資約30億元。項目建設(shè)分為涂布型OLED相位差補償膜項目和集成電路功能膜項目，建成后將填補國內(nèi)相關(guān)產(chǎn)業(yè)鏈空白，實現(xiàn)OLED偏光片光學(xué)補償膜國產(chǎn)化，為國內(nèi)首條涂布型相位差膜量產(chǎn)線。杭州楚環(huán)科技股份有限公司承接本次車間生產(chǎn)線廢氣治理。

在此項目的執(zhí)行過程中，楚環(huán)科技項目團隊?wèi){借其卓越的執(zhí)行力及產(chǎn)出的高質(zhì)量成果，贏得了業(yè)主單位的高度認(rèn)可與贊譽。團隊所展現(xiàn)的高度專業(yè)性和敬業(yè)精神，確保項目能夠按照既定計劃穩(wěn)步推進，最終圓滿達(dá)成項目目標(biāo)，實現(xiàn)了完美的收官。

項目參數(shù)

污染來源：車間生產(chǎn)過程中涂布線（含配液、涂布機、干燥箱、清洗等）排放的尾氣

處理設(shè)備：冷凝+干式過濾+沸石轉(zhuǎn)輪+ RTO

廢氣風(fēng)量：75000m3/h

污染物組分：甲苯、環(huán)己酮、丙二醇甲醚、正丁酯、仲丁醇、雙丙酮醇

處理效果：凈化效率≥98%，排放濃度：總VOCs<60mg/m3

技術(shù)設(shè)計

本項目對車間的涂布生產(chǎn)線排放的VOCs進行治理。當(dāng)有機廢氣的流量大、濃度低時，采用直接蓄熱燃燒需消耗大量燃料時，可先采用吸附手段將有機廢氣吸附進行濃縮，然后再通過高溫?zé)犸L(fēng)吹掃，使有機廢氣脫附成為高濃度廢氣后再進行熱氧化分解。當(dāng)廢氣濃度足夠高時，僅需要補充少量熱源就可維持系統(tǒng)正常運行。采用轉(zhuǎn)輪吸脫附+蓄熱氧化裝置進行廢氣凈化處理，沸石轉(zhuǎn)輪處理設(shè)計濃縮7~10倍，濃縮后的小風(fēng)量高濃度廢氣由風(fēng)機引入RTO爐進行氧化分解，轉(zhuǎn)輪的脫附熱空氣可利用RTO配置的高溫?fù)Q熱器進行預(yù)熱。