Picarro宣布用于半導(dǎo)體晶圓廠的氣體分子污染監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

時(shí)間：2020-04-28 10:57

來(lái)源：Picarro, Inc.

加利福尼亞州圣克拉拉市2020年3月25日 /美通社/ -- Picarro宣布推出經(jīng)我們完全優(yōu)化的AMC監(jiān)控系統(tǒng)——Picarro SAM（取樣Sample、分析Analyze和監(jiān)測(cè)Monitor）。該系統(tǒng)由Picarro在業(yè)界領(lǐng)先的基于CRDS的傳感器組成，該傳感器已集成到最新的采樣系統(tǒng)中。SAM單元可提供高通量采樣，而不會(huì)影響傳感器的性能。

Picarro AMC Monitoring System

新的Picarro SAM系統(tǒng)是從組件產(chǎn)品到系統(tǒng)解決方案的重大轉(zhuǎn)變。一站式的設(shè)計(jì)、制造和測(cè)試系統(tǒng)的好處包括：

針對(duì)Picarro硬件和軟件設(shè)計(jì)且完全集成的系統(tǒng)——無(wú)集成兼容性問題

Picarro SAM系統(tǒng)進(jìn)行過(guò)精心優(yōu)化——系統(tǒng)性能符合Picarro Semi系統(tǒng)規(guī)格

新發(fā)明的、正在申請(qǐng)專利的氣體輸送歧管促成了SAM的顯著性能優(yōu)勢(shì)，使其在很短的時(shí)間內(nèi)達(dá)到萬(wàn)億分之幾（ppt）的檢測(cè)靈敏度，并能快速將SAM系統(tǒng)恢復(fù)到基線靈敏度水平。這使得SAM成為在線實(shí)時(shí)AMC監(jiān)視系統(tǒng)的理想選擇。該系統(tǒng)帶有易于使用的圖形用戶界面，可進(jìn)行各種圖表和趨勢(shì)分析。

SAM可以配置為從8個(gè)或16個(gè)端口采樣，并且目前可用于檢測(cè)氨、氟化氫和鹽酸，這三個(gè)關(guān)鍵AMC會(huì)影響半導(dǎo)體晶圓的產(chǎn)量。展望未來(lái)，我們將根據(jù)Picarro的半導(dǎo)體產(chǎn)品路線圖為其它氣體提供SAM系統(tǒng)。

SAM系統(tǒng)路線圖還將支持復(fù)雜的AMC分析，以幫助客戶更準(zhǔn)確地快速識(shí)別AMC事件的位置，從而允許采取更快的糾正措施，以提高與AMC相關(guān)的晶圓產(chǎn)量。

關(guān)于Picarro：

Picarro為實(shí)時(shí)AMC監(jiān)測(cè)提供行業(yè)領(lǐng)先的解決方案。與現(xiàn)有的AMC測(cè)量技術(shù)（例如離子遷移譜（IMS）和離子色譜法）相比，其光腔衰蕩光譜技術(shù)（CRDS）具有明顯的優(yōu)勢(shì)。 Picarro的SI2000系列分析儀可在數(shù)秒而不是數(shù)小時(shí)內(nèi)對(duì)快速潔凈室中的污染物進(jìn)行響應(yīng)。 Picarro分析儀具有萬(wàn)億分之一（ppt）含量水平的實(shí)時(shí)連續(xù)分析功能，可為無(wú)塵室、FOUP和晶圓廠設(shè)備中的AMC監(jiān)控提供污染事件的預(yù)警。

編輯：李丹

0贊